轮廓仪技术规格

 技术规格

技术参数	线性精度1	±（1.5+|0.2H|）μm
	圆弧2	±（2+R/8）μm
	角度3	±2′
	直线度4	0.8μm/100mm
运动控制	X轴驱动方式	电动
	Z轴驱动方式	电动
	X轴驱动速度	0.1~10mm/s
	Z轴驱动速度	0.5-10mm/s

 

注：1、H为水平位置上的测量高度；2、2mm＜R＜10mm的标准球，取样圆弧夹角为120°；3、60°、90°的角度块，角边取样长度为5mm；4、λc为2.5mm，测量速度为≤0.3mm/s；5、2mm＜R＜10mm的标准球，取样圆弧夹角为120°6、以上参数均在20℃±5℃，阶梯温度不超过2℃/h的环境下测得；7、地面震动大RMS  

＜50HZ  2.5μm/s /＞50HZ  5.0μm/s。