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轮廓仪技术规格

  • 发布日期:2020-05-18      浏览次数:938
    •  技术规格

      技术参数

      线性精度1

      ±(1.5+|0.2H|)μm

      圆弧2

      ±(2+R/8)μm

      角度3

      ±2′

      直线度4

      0.8μm/100mm

      运动控制

      X轴驱动方式

      电动

      Z轴驱动方式

      电动

      X轴驱动速度

      0.1~10mm/s

      Z轴驱动速度

      0.5-10mm/s

       

      注:1、H为水平位置上的测量高度;2、2mm<R<10mm的标准球,取样圆弧夹角为120°;3、60°、90°的角度块,角边取样长度为5mm;4、λc为2.5mm,测量速度为0.3mm/s;5、2mm<R<10mm的标准球,取样圆弧夹角为120°6、以上参数均在20℃±5℃,阶梯温度不超过2℃/h的环境下测得;7、地面震动大RMS  

      50HZ  2.5μm/s />50HZ  5.0μm/s。 

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